株式会社ヤシマは、真空技術を通じ社会と環境への貢献を目指す企業です☆

実験用装置(例)　真空内加熱・冷却・試料移動機構など

「高真空高温炉」

• 当社ではお客様の目的に応じて最適の発熱体を選び、システムを構成しております。

  • 最高1800℃設計
  • コンパクト設計　500×500×1400　φ300水冷チェンバー
  • 排気系：ターボ分子ポンプ

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「イオンビーム照射エネルギー測定装置」

• 加速器のイオンビーム強度と位置をスキャニング方式でプロファイルする装置です。
  線形に並べたセンサでイオンビームをスキャニングします。マイコンにて制御・測定表示をパソコンに搭載した専用ソフトから行いますこのようなシステムではパラメータの変更が容易で、測定結果もビジュアルに表現することが可能です。
  
  真空中の構造物をあらゆる条件で動作制御する必要がある場合などは、このシステムが最適です。

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実験機器

「真空チェンバー」

ほぼ常に完全1点仕様の真空チェンバーの製作をストレスなく進めるには、迅速な初期設計⇒変更⇒設計確定の流れが必要です。ヤシマは真空装置には必須の真空チェンバーは今まで数多くの実績があり、迅速対応が可能です。

• 大型チェンバーの製作も可能です(スペースチェンバー等)。また円筒型・角型・球型など各種形状OKです。
• 超高真空仕様にはバフ研磨、EP処理、複合電解研磨など各種表面処理を用途、使用圧力により施します。

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「各種実験装置」

実験の場合、既存の装置を利用して新しい構造物を搭載する事があります。また試料が縦横20�o程度の小さいものが多く、更に複数の研究者が同時に実験を行う場合もあるため、現場の状況に合わせ、コンパクトで使いやすさが必要となります。

• 既存装置の現地調査(採寸等)⇒計画設計　＜迅速対応＞
• 加熱、冷却、試料のハンドリング機構等を含めた設計
• お手持ち(遊休)の機器の利用
• 不足機器、部品については最適な機器のご提案・調達

　　　　

試料台・治具の加工

「試料台(基板)」

• MAX400℃のヒーター内臓しています。
• ロードロック室からの搬送に対応しています。
• その他ご仕様により設計致します。

「蒸着マスク」

• エッチングによる蒸着マスクの製作をしています。
• 違うパターンを重ねて形状を変えることも可能です。

「セラミックス・高融点金属・プラスチック加工」

• セラミックでありながらカーボン並みの導電性を持つ特殊な材料の精密加工ができます。
• アルミナ等通常のセラミックの加工も行っています。
• 真空装置ではよく使う加熱機構には、Mo・W・Taなど高融点金属を加工し組み込んでいます。
• プラスチック材料ではPTFE・PEEKといったエンプラ・スーパーエンプラの加工を行っています。超高真空用として放出ガスが少なく300℃の高温に耐えるポリイミド系材料の加工も行っています。

「精密穴加工(ノズル)」

• 流体の流れを乱さないよう放電加工ではなく先端工具にて切削しています
• 左の写真はφ0.3∠30°L5