株式会社ヤシマは、真空技術を通じ社会と環境への貢献を目指す企業です☆

電流導入端子（超高真用・高真空用）

主に電力を供給する「パワー端子」，分析用などの「同軸端子」，「熱電対」についてご仕様に合わせた製品を製作いたします。

「パワー端子」

ご仕様に合わせた端子の製作を中心に行っています。以下の項目についてご連絡頂ければ1個から製作可能です。

• 端子の材質　銅, ニッケル（主に銅を使用しますが耐熱が必要な場合などでニッケルを使用します。許容電流：銅＞ニッケル
• 所要電流　~400A
• 耐電圧　~30KV
• 端子の数と取り付けるフランジ等の規格もしくは形状

「同軸端子」

BNC・MHV・SHV各端子にハーメッチック封じしています。

• 超高真空対応です（溶接タイプ）。シングルエンド/ダブルエンド及びグランドフロート各タイプ対応です。
• Oリングによるフランジ取付タイプもあります。

「熱電対」

超高真空用として主にKタイプ熱電対を提供しています。

• ICF34にも直接溶接ができます。
• 例えば1つのフランジにパワー端子と併設してヒーターのユニットがコンパクトに収まります。

真空排気装置

「真空排気装置」

圧力（真空度），吸入気体の種類と流量，場面，更に予算等により真空ポンプの選定・組み合わせが必要になります。ご使用になるシーンに最適なものをご提案いたします。

ターボ分子ポンプ排気装置-----
ターボ分子ポンプが往時に比べ安価となり中心的な存在となっています。小型中型及び一部大型のもので取付姿勢が自由なタイプが揃っています。
大気圧突入の耐性も向上し、更に高圧側から排気できる広域タイプもあり高真空・超高真空ポンプの代表格です。

• ターボ分子ポンプ（TMP)について
  排気能力等の特性はカタログなどに書かれている通りですが、特に消費電力が低く、空冷仕様が主流で水冷の場合でも小規模な設備で済みます。
  油のような高分子の圧縮比はたいへん大きく、軸受にグリースなどを使用しているタイプでも油蒸気の逆流などはほぼありません。
  軸受に球軸受を使用しているタイプの多くは機種によりますが、約30000時間でメンテナンスが必要となります。
• 磁気軸受型（オイルフリータイプ）について
  価格が大変リーズナブルになってきました。
  電源（コントローラー）が初期に比べ小型・軽量化されたいへん使いやすくなりました。
  補助ポンプをドライ型にすることで系内をオイルフリーに近い環境ができます。
  特に定期的なメンテナンスは要らないようですが、何らかの不具合が発生した場合の修理費は比較的高額になることが多いので注意が必要です。
• 油蒸気の逆流やチェンバーの汚染について
  もとより軸受にグリースなどオイルを使用しているタイプでも運転時に油蒸気の逆流はほとんどありません。ポンプの停止時はその吸気口バルブを閉め適正にポンプ内を昇圧することにより吸気口側の汚染は防げます。
  磁気軸受タイプでドライポンプを補助として使用する場合でもTMPの排気口付近は吸気口より清浄性は低いのでコンタミ対策として同様の処置をされるのがお勧めです。

油拡散ポンプ排気装置------
定評のある大亜真空社製の油拡散ポンプ及び液体窒素トラップ（オプション）を搭載しています。手軽に高真空の環境が作れます。
弊社製油拡散ポンプ排気装置について

• 配管・バルブ類は基本的にSUS304材を使用しています。
• 液体窒素トラップも十分な容積を確保していますのでしっかり油の逆流を防ぎます。

「真空ポンプ他機器の単品販売」

• 真空ポンプ---ターボ分子ポンプ他全般、メーカー各社取り扱い、選定・ご提案いたします。
• 真空バルブ・真空計など---各社取り扱い、選定・ご提案いたします。
• 真空配管---銅ガスケット（個別包装）・センタリングなどの消耗品、フレキシブルチューブ・ベローズなど